Wölfel, Christian - Multivariable dynamic modeling and plasma-

Schrijver:
Titel: Multivariable dynamic modeling and plasma-oriented advanced process control of nonlinear reactive sputtering - PhD Thesis
ISBN: 9783753424842
Taal: Duits
Uitgever: BoD - Books on Demand
Bijzonderheden: 2021 340pp Paperback / softback
Prijs: € 144,30
Verzendkosten: Gratis (binnen Nederland)
Meer info:

Flaptekst

This thesis investigates the nonlinear reactive sputter process in a novel way: both from the control-theoretical side and from the plasma-physical side.
The plasma behavior is explicitly considered for the process modeling and for the design of the control system to establish steady-state plasma conditions. By use of one of the presented control systems an unstable operation point of the process can be stabilized, which enables high deposition speed and a stoichiometric thin film subject to steady-state plasma conditions. In this framework, the plasma state is either defined by the self-bias voltage or the electron density. The application of the Multipole Resonance Probe allows to control the electron density as a quantity that directly characterizes the plasma state.

Verder lezen

Boekstra uit Nijverdal

zakelijk

Logo Boekstra

Bij Boekstra koopt u nieuwe boeken tegen de vastgestelde boekenprijs.
Verzendkosten 1,75 euro per zending binnen Nederland, vanaf 19,90 euro GEEN verzendkosten binnen Nederland.
Verzendkosten België 3,95 euro per zending.
Bij bestellingen van 10 euro of minder zijn de verzendkosten hoger; zie vermelding bij het boek.
Speciale verzoeken? Meestal geen punt, vermeld ze in het veld opmerking.
De actuele levertijd kunt u vinden op onze website.

De verkoper zal binnen 1 werkdag contact met u opnemen om de koop verder af te handelen.

Let op: dit nieuwe boek is anderstalig en heeft een levertijd van ongeveer 5 werkdagen binnen Nederland

Voer uw gegevens hieronder in om deze titel te bestellen bij Boekstra

Stuur mij de Boekwinkeltjes nieuwsbrief
De captcha wordt geladen. Een ogenblik geduld...
Op het bezoeken van onze website, zo ook het plaatsen van een bestelling, zijn onze Algemene voorwaarden van toepassing.

Het huisnummer is ook opgegeven in het straat veld. Gelieve controleren of de velden straat en huisnummer correct zijn opgegeven.

Straat:
Nummer:

De captcha wordt geladen. Een ogenblik geduld...
 
  • Dit boek is nieuw
  • U ontvangt bij ons altijd de laatste beschikbare druk
  • Daarom kan de getoonde afbeelding afwijken van het werkelijke boek
  • Van toepassing zijn de Algemene Verkoopvoorwaarden Boekstra
  • Na uw bestelling ontvangen u en Boekstra een bevestiging per e-mail
  • U handelt deze bestelling rechtstreeks af met Boekstra. In de e-mail staan de naam,adres, woonplaats en telefoonnummer van Boekstra vermeld
  • Boekstra kan betaling vooraf vragen
  • Bekijk hier de algemene voorwaarden van Boekstra.

Onthoud mijn gegevens

Veilig, snel en eenvoudig bestellingen plaatsen?

Registreer u vrijblijvend als koper!

Veiligheidscode

Uitleg over de veiligheidscode en instellingen

Wijzig veiligheidscode-instellingen

Besteld, hoe nu verder?

Nadat u een bestelling heeft geplaatst wordt er een bevestiging per e-mail verzonden naar u en de verkoper.
De verkoper zal binnen 1 werkdag contact met u opnemen om de koop verder af te handelen. Afhankelijk van uw locatie heeft u in de meeste gevallen binnen 2 dagen uw bestelling in huis.