Stel een vraag

Met het formulier hier onder kunt u contact op nemen met boekwinkel Boekstra.

 

Wölfel, Christian - Multivariable dynamic modeling and plasma-oriented advanced process control of nonlinear reactive sputtering - PhD Thesis

De vraag gaat over de volgende titel:

Schrijver: Wölfel, Christian
Titel: Multivariable dynamic modeling and plasma-oriented advanced process control of nonlinear reactive sputtering - PhD Thesis
ISBN: 9783753424842
Uitgever: BoD - Books on Demand
Bijzonderheid: 2021 340pp Paperback / softback
Prijs: € 144,30
Gratis
Meer info

Flaptekst

This thesis investigates the nonlinear reactive sputter process in a novel way: both from the control-theoretical side and from the plasma-physical side.
The plasma behavior is explicitly considered for the process modeling and for the design of the control system to establish steady-state plasma conditions. By use of one of the presented control systems an unstable operation point of the process can be stabilized, which enables high deposition speed and a stoichiometric thin film subject to steady-state plasma conditions. In this framework, the plasma state is either defined by the self-bias voltage or the electron density. The application of the Multipole Resonance Probe allows to control the electron density as a quantity that directly characterizes the plasma state.
Boek bekijken

Boekstra uit Nijverdal

zakelijk

Logo Boekstra

Bij Boekstra koopt u nieuwe boeken tegen de vastgestelde boekenprijs.
Verzendkosten 1,75 euro per zending binnen Nederland, vanaf 19,95 euro GEEN verzendkosten binnen Nederland.
Verzendkosten België 2,95 euro per zending.
Minimale bestelafname van 10,- euro, exclusief verzending.
Speciale verzoeken? Meestal geen punt, vermeld ze in het veld opmerking.
De actuele levertijd kunt u vinden op onze website.

De verkoper zal binnen 1 werkdag contact met u opnemen om de koop verder af te handelen.

© 2001 - 2023 Boekwinkeltjes. Alle rechten voorbehouden.


Algemene voorwaarden Privacy en cookies Contact