Stel een vraag

Met het formulier hier onder kunt u contact op nemen met boekwinkel Boekstra.


 

Wölfel, Christian - Multivariable dynamic modeling and plasma-oriented advanced process control of nonlinear reactive sputtering - PhD Thesis

De vraag gaat over de volgende titel:

Schrijver: Wölfel, Christian
Titel: Multivariable dynamic modeling and plasma-oriented advanced process control of nonlinear reactive sputtering - PhD Thesis
ISBN: 9783753424842
Uitgever: BoD - Books on Demand
Bijzonderheid: 2021 340pp Paperback / softback
Prijs: € 144,30
Gratis
Meer info

Flaptekst

This thesis investigates the nonlinear reactive sputter process in a novel way: both from the control-theoretical side and from the plasma-physical side.
The plasma behavior is explicitly considered for the process modeling and for the design of the control system to establish steady-state plasma conditions. By use of one of the presented control systems an unstable operation point of the process can be stabilized, which enables high deposition speed and a stoichiometric thin film subject to steady-state plasma conditions. In this framework, the plasma state is either defined by the self-bias voltage or the electron density. The application of the Multipole Resonance Probe allows to control the electron density as a quantity that directly characterizes the plasma state.

Boek bekijken

Boekstra uit Nijverdal

zakelijk

Logo Boekstra

Bij Boekstra koopt u nieuwe boeken tegen de vastgestelde boekenprijs.
Verzendkosten 1,75 euro per zending binnen Nederland, vanaf 19,90 euro GEEN verzendkosten binnen Nederland.
Verzendkosten België 3,95 euro per zending.
Bij bestellingen van 10 euro of minder zijn de verzendkosten hoger; zie vermelding bij het boek.
Speciale verzoeken? Meestal geen punt, vermeld ze in het veld opmerking.
De actuele levertijd kunt u vinden op onze website.

De verkoper zal binnen 1 werkdag contact met u opnemen om de koop verder af te handelen.